RS Technologies

■シリコンウェーハ再生
半導体製造工程でテスト用途に使われたシリコンウェーハを、再びテストウェーハとして使える状態に加工することです。新品を使い続けるよりコストを抑えられるため、半導体メーカーの製造効率を支える重要な工程です。

■ウェーハ再生事業
使用済みテストウェーハを回収し、膜の除去や洗浄、研磨などを行って再生ウェーハとして販売する事業です。RSテクノロジーズの中核事業であり、世界中の大手半導体メーカーを顧客としています。

■テストウェーハ
半導体チップそのものを作るためではなく、半導体製造工程のテストや評価に使われるウェーハです。製造ラインの状態確認に必要なため、半導体工場で継続的に使われます。

■再生ウェーハ
一度テストウェーハとして使われたウェーハを、再生加工して再びテスト用途に使えるようにしたものです。新品のテストウェーハより安価に使えるため、半導体メーカーのコスト削減に役立ちます。

■プライムウェーハ
実際に半導体チップへ加工される新品のシリコンウェーハです。RSテクノロジーズは中国のGRITEKを通じて、主に8インチプライムウェーハの製造販売を行っています。

■GRITEK
中国のプライムウェーハメーカーです。RSテクノロジーズは中国政府系研究機関との合弁を通じてGRITEKを連結子会社化し、プライムウェーハ事業へ参入しました。

■12インチプライムウェーハ
直径12インチの大型プライムウェーハです。より多くの半導体チップを作ることができるため、半導体市場の成長に対応する重要な製品と位置づけられています。

■半導体関連装置・部材等事業
半導体製造装置向け消耗部材、超音波映像装置、電子部品、VRFB用電解液、光ピックアップモジュールなどを扱う事業です。ウェーハ関連事業の周辺領域へ広げる成長分野です。

■ドライエッチング装置向け消耗部材
半導体製造工程で使われるドライエッチング装置に必要な石英リングやシリコン電極などの部材です。装置の稼働に伴って消耗するため、継続的な需要が見込まれる製品です。

■化学処理技術
使用済みテストウェーハに付いた金属などの膜を、化学的な処理で取り除く技術です。再生ウェーハを再び使える品質に戻すための重要な技術です。

■金属除染技術
ウェーハ表面に付着した金属汚染を取り除く技術です。資料では、Cu除去について新品同様の清浄度を実現する強みとして示されています。

■研磨加工技術
ウェーハ表面を磨き、再利用に適した状態へ整える加工技術です。RSテクノロジーズは独自の研磨加工技術を強みとしており、再生回数の増加につなげています。

■超音波映像装置
超音波を使って対象物の内部状態を画像として確認する装置です。RSテクノロジーズの半導体関連装置・部材等事業で扱われている製品の一つです。

■VRFB用電解液
バナジウムレドックスフロー電池に使われる電解液です。RSテクノロジーズはLEシステムを通じて、VRFB用電解液の製造販売や蓄電事業を含むエネルギーソリューション事業を展開しています。

■光ピックアップモジュール
光ディスクなどの情報を読み取るために使われる部品です。RSテクノロジーズはRSPDHを連結子会社化し、この製品分野にも事業を広げています。

■半導体市場の川上産業
半導体製造の早い段階に関わる材料や部材の領域を指します。RSテクノロジーズはウェーハや半導体製造装置向け消耗部材を扱うため、半導体市場の成長を上流から取り込む立場にあります。